晶圓腐蝕爐

產(chǎn)品規(guī)格：

1、適用范圍：8寸/12寸硅片
2、產(chǎn)能：批次腐蝕，每批次25片，產(chǎn)能依據(jù)腐蝕厚度
3、搬運(yùn)方式：PFA cassette/手動

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